質量流量測量儀用于在工藝技術領域直接測量氣體通過量。在體積流量測量儀中，還需要測量溫度和壓力或密度，因為氣體的密度或體積會因壓力的不同而發生變化。與之相反，質量流量的測量并不受壓力和溫度影響。8701 型數字式質量流量測量儀具有一個以硅芯片為基礎的傳感器（參見第 2 頁的描述），該傳感器直接處于旁路管道中。通過這種方式可以達到一個非常短的設備反應時間。當前流量會被作為模擬的標準信號輸出或者通過 RS 通訊輸出。可針對兩種不同的氣體對型號 8701 進行校準，用戶可在兩者之間進行轉換。根據用戶要求的不同，在選擇與介質相接觸的接頭的材料時應確保，可利用所有的普通工藝氣體運行設備。典型用途是，在檢驗機構、環境技術、醫療技術、分析結束中測量氣體流量。

這種傳感器在所謂的CTA中起著熱膜風速計的作用

工作模式(恒溫風速表)。要做到這一點，兩個

溫度系數的電阻器

直接在介質流動和三個電阻器位于流動的外面是

連接在一起形成一座橋。

氣體流動中的個電阻(RT)

)測量流體溫度，

而第二個，低值電阻(RS)是加熱，以保持它

在一個固定的，與流體溫度相關的預先設定的超溫。

維持這一溫度所需的加熱電流是一種測量方法

流動的氣體所帶走的熱量，代表主熱量

測量。

在MFC內進行適當的流量調節并進行校準

高質量的流量標準保證了氣體的每次流動質量

單元可以從原始信號中得到，具有較高的精度。

質量流量傳感器是根據熱原理工作的

提供獨立于它的質量流有什么好處嗎

壓力和溫度。

總氣體流的一小部分被轉移到一個小的，具體來說

設計旁路通道，保證層流條件。

所述傳感器單元是嵌入該流道壁面的芯片。

該芯片由MEMS技術生產，包含一個加熱電阻和

兩個溫度傳感器(熱電傳感器)對稱排列

加熱器的上游和下游。的壓差

熱流計是通過流量傳感器測量質量流量的一種方法。

校準過程實現了傳感器的 分配

通過設備向總流量發送信號。